LprobeSoft03_COND Pt-Pt

By Vmicro

LS003_Pt-Pt_30, Lprobe conductive, AFM probe (coating Pt/Pt, tip 30 µm, Vmicro) 特長 - 探針設計の可能性を広げる新しい MEMS 技術 - 長い探針により電気測定モードでのカンチレバー由来アーティファクトを低減 - コーン角および探針-カンチレバー角を設計により自由に選択 - TrueTipView：優れた探針視認性により試料上へ正確にアプローチ - 取り扱いやすい垂直側壁プローブチップ 用途 - 電気測定モード - 静電気力顕微鏡（EFM） - ケルビンプローブフォース顕微鏡（KPFM） 仕様 Parameter Unit Nominal Range Frequency kHz 90.0 50-150 Spring constant N/m 3.0 1-8 Tip height H t µm 30.0 15-50 Tip apex radius nm 25.0 20-35 Tip side angle θ ° 15.0 +/-0.5° Tip-cantilever angle α ° 118.0 +/-0.5° Cantilever length L c µm 115.0 +/-1 Cantilever width W c µm 40.0 +/-1 Cantilever thickness T c µm 1.4 +/-0.15 Cantilever backside coating Pt Tip-side coating Pt Tip and cantilever material p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm Chip dimensions mm 3.4x1.6x0.4 カンチレバーと探針の詳細 SEM full-view image of Vmicro LS003 Pt-Pt 30 AFM probe showing complete probe geometry - 傾斜探針設計 AFM ヘッドの取り付け角度を補正し、さまざまな試料表面で正確なデータ取得を可能にします。 - 探針高さ 30 µm 深い領域やアクセスしにくい試料領域のイメージングを可能にします。 - 探針側壁角 15° 探針と試料のコンボリューションを抑え、より正確な形状測定を実現します。 - 探針先端半径 25 nm 高度な AFM アプリケーションに信頼性の高い分解能を提供します。 Lprobes: AFM Probes based on in-plane silicon technology